1、单项选择题  在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

A.电子振荡放电
B.离子自动放电
C.低电压弧光放电
D.双等离子电弧放电

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本题答案：A
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2、单项选择题  决定吸附原子彼此间能否形成一个稳定的核团，以便于进行凝结的主要因素主宰于所形成的核团是否（）而定。

A.动能最低
B.稳定
C.运动
D.静止

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本题答案：B
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3、单项选择题  二氧化硅薄膜的折射率是表征其（）学性质的重要参数。

A.电
B.磁
C.光
D.热

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本题答案：C
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4、单项选择题  He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。

A.活跃杂质
B.快速扩散杂质
C.有害杂质
D.扩散杂质

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本题答案：B
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5、单项选择题  point defe ct的意思是（）。

A.点缺陷
B.线缺陷
C.面缺陷
D.缺失的点

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本题答案：A
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6、单项选择题  电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是由电中性的分子或原子组成的，前者则是（）和中性粒子组成的集合体。

A.离子
B.原子团
C.电子
D.带电粒子

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本题答案：D
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7、多项选择题  树脂使用过程中需保持一定温度，阳树脂和阴树脂分别不能高于（）度，使用温度不能过低，低于0度会使树脂冻裂。

A.80
B.60
C.40
D.20
E.10

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本题答案：A, C
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8、单项选择题  降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。

A.增大
B.减小
C.不变
D.变为0

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本题答案：B
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9、单项选择题  当二氧化硅膜很薄时，膜厚与时间（）。

A.t2成正比
B.t2成反比
C.t成正比
D.t成反比

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本题答案：C
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10、单项选择题  在确定扩散率的测结深实验中，结深的测量是采用HF和（）的混和液对磨斜角进行化学染色的。

A.乙醇
B.HCL
C.H2SO4
D.HNO3

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本题答案：D
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11、单项选择题  Torr是指（）的单位。

A.真空度
B.磁场强度
C.体积
D.温度

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本题答案：A
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12、单项选择题  离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

A.渐近角
B.偏折角
C.散射角
D.入射角

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本题答案：C
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13、单项选择题  硅烷的分子式是（）。

A.SiF4
B.SiH4
C.CH4
D.SiC

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本题答案：B
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14、单项选择题  （）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

A.溅射率
B.溅射系数
C.溅射效率
D.溅射比

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本题答案：A
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15、单项选择题  如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

A.扩散剂总量
B.压强
C.温度
D.浓度

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本题答案：D
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16、单项选择题  离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

A.正
B.负
C.中性
D.以上答案都可以

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本题答案：A
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17、单项选择题  菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质（）。

A.传输率
B.载流子浓度
C.扩散梯度
D.扩散系数

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本题答案：A
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18、多项选择题  二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

A.比色法
B.双光干涉法
C.椭圆偏振光法
D.腐蚀法
E.电容-电压法

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本题答案：A, B, C, D, E
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19、单项选择题  危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。

A.2族金属
B.碱金属
C.合金金属
D.稀有金属

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本题答案：B
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20、多项选择题  溅射的方法非常多其中包括（）。

A.直流溅射
B.交流溅射
C.反应溅射
D.二级溅射
E.三级溅射

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本题答案：A, B, C, D, E
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21、单项选择题  在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

A.推挤扩散
B.杂质扩散
C.填隙扩散
D.自扩散

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本题答案：D
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22、多项选择题  按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

A.真空蒸发
B.离子束蒸发
C.电子束蒸发
D.粒子束蒸发
E.常压蒸发

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本题答案：A, B, C
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23、多项选择题  半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。

A.氧化
B.改变导电类型
C.涂层
D.改变材料性质
E.镀膜

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本题答案：B, D
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24、单项选择题  当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

A.临界剂量
B.饱和剂量
C.无损伤剂量
D.零点剂量

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本题答案：A
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25、多项选择题  微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

A.台阶仪
B.干涉显微镜
C.光切显微镜
D.扫描电镜
E.椭偏仪

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本题答案：A, B, C, D
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26、多项选择题  属于铝的性质有（）。

A.电阻低
B.抗电迁移特性好
C.对硅氧化物有很好的黏合性
D.有很高的纯度
E.易于光刻

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本题答案：A, C, D, E
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27、单项选择题  硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。

A.钠
B.钾
C.氢
D.硼

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本题答案：A
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28、单项选择题  将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

A.自上而下
B.自下而上
C.自左而右
D.自右而左

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本题答案：A
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29、单项选择题  thermal conductivity gauge的意思是（）。

A.离子计
B.热传导真空计
C.放电型真空计
D.麦克劳式真空计

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本题答案：B
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30、单项选择题  电气测量仪表中，整流式对电流的种类与频率的适用范围是（）。

A.直流
B.工频及较高频 www.91eXam.org率的交流
C.直流及工频交流
D.直流及工频与较高频率的交流

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本题答案：B
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