一、清华大学IC装备超精密机械及测控研究室介绍

清华大学朱煜教授带领的国家重点领域“IC装备精密机械与测控”创新团队(简称IC装备团队)，核心团队包括11名教师、20多名在读博士/硕士研究生、30多名工程师。IC装备团队负责人朱煜教授现为机电所所长，入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，是02国家重大专项总体专家组副组长。IC团队围绕IC制造装备国家重大战略需求，针对光刻机工件台纳米级运动精度的技术目标，开展了超精密机械、测量、控制以及系统集成的协同创新研究，在基础理论、重大技术攻关及研发方面取得优秀成果，对相关领域与产业产生重要影响。2004年研制成功国内首台10nm精度同步扫描气浮运动试验系统；2008年研制出实现±2nm定位精度微动台；2009年承担02国家科技重大专项双工件台项目；2011年研制成功我国第一台光刻机双工件台样机；2015年承担的02专项项目完成全部考核指标，该项目的完成标志着我国成为世界上少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域最尖端系统的国家。IC团队重视基础理论和关键技术研究，着重培养超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备精密机电系统方面的领军人物和高端专业技术人才，提供先进的科研平台和教学实践基地。

二、研究领域

研究室与北京华卓精科科技股份有限公司联合承担国家02重大专项，研制高端光刻机双工件台超精密平面光栅位置系统和用于制造大尺寸全息平面光栅的扫描干涉光刻系统。

对于高端光刻机双工件台超精密平面光栅位置测量系统，主要开展超精密平面光栅读数头研制、高速高分辨率电子相位卡研制、平面光栅位置测量系统精度理论研究，突破相应的关键技术，为高端光刻机双工件台平面光栅位置测量系统产品设计提供支撑。

对于扫描干涉光刻系统，主要开展光学自动对准/波前测量/周期测量/条纹锁定等分系统的研制、扫描干涉光刻系统精度理论研究，突破相应的关键技术，为扫描干涉光刻系统产品设计提供支撑。

现面向海、内外公开招聘优秀博士后3名。

三、岗位要求

（1）三年内获得或近期即将获得光学工程/精密机械/应用物理/自动化/电子/控制工程等相关领域的博士学位；

（2）具有强烈的科学研究兴趣，良好的专业素质，以及较强的实验设计和动手能力；

（3）具备较强的语言表达和沟通能力，责任心强，工作踏实主动，团队合作精神佳；

（4）具有光机电一体化多学科背景者优先；

（5）拥有超精密光学干涉测量专业知识和研发经历者优先。

四、岗位待遇

（1）享受清华大学博士后待遇（年薪10万-15万）和课题组津贴（每年至少2.4万）；课题组将根据应聘者的能力和业绩发放额外奖金；

（2）享受清华大学博士后其他福利政策，包括学校参照校内同级人员的标准为博士后缴纳“五险一金”，享受教学、科研奖励政策及子女可在附属学校、幼儿园入学、入托等；

（3）博士后进站后将获得与课题相关的基础研究训练，协助PI开展课题研究，提供海外学术交流机会，相对独立地承担相关科研工作，协助指导研究生，参与申请科研经费及管理。

五、项目资助

鼓励并推荐博士后申报各类博士后资助项目，获批者同时享受项目资助经费，项目资助情况如下：

（1）国家“博士后创新人才支持计划”，国家给予两年60万元资助；

（2）清华大学博士后支持计划：

①清华大学博士后支持计划（海外），两年60万元人来源:91考试网 www.91eXam.org民币/两年40万元人民币/两年20万元人民币；

②清华大学博士后支持计划（国内）：“博士后创新人才资助计划”——两年50万元，“优秀博士毕业生”——两年30万元。

（3）中国博士后科学基金项目。特别资助：15万元；面上一等资助：8万元；面上二等资助：5万元；

（4）“博士后国际交流计划学术交流项目”，给予每人3万元资助。

六、联系方式

凡符合招聘岗位要求且有意向者，请通过电子邮件（主题请注明“博士后申请”）发送个人简历和联系方式等相关资料至：zm01@ic.me.tsinghua.edu.cn。如获面试邀约，请携带个人简历、博士论文等相关资料。

应聘者申请材料我们将严格保密。